一种TFT源漏极沟道尺寸的自动测量方法

摘要：

为了实现对图像中TFT源漏极的快速定位和沟道尺寸的自动测量,采用基于图像特征点的图像识别方法.在识别过程中先采用图像处理的方法对图像进行优化,再采用多边形拟合的方法确定目标的边缘,并通过改进的角点检测方去对物体形状进行更精确的定位,从而实现了对TFT源漏极沟道尺寸的精确测量.经过实验验证,精度可达到0.02像素.

关键词：TFT、边缘检测、形态学处理、多边形拟合、角点检测

所属期刊栏目：34

分类号：TN919-34;TP751

资助基金：四川省应用基础研究项目2010JYQ003

在线出版日期：2011-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：81-83