一种用于压力传感器的温度控制系统设计

摘要：

针对SiC高温MEMS压力传感器易受温度影响,产生零点漂移、测量误差增大等问题,设计了一种温度控制系统,根据科恩-库恩公式建立了系统的数学模型,采用参数自整定PID控制算法,克服了纯PID控制有较大超调量的缺点,实现了一个温度控制系统.利用Matlab仿真软件的Similink模块建立系统的仿真模型,通过仿真和测试验证系统满足设计要求.解决了大温度范围下压力传感器难以补偿的问题,使得压力传感器在高温环境下的应用得以实现,提高了压力传感器的稳定性.

关键词：MEMS、压力传感器、温度控制、零点漂移

所属期刊栏目：33

分类号：TN911.7;TN86

在线出版日期：2010-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：157-158,170