衬底温度对制备出CNT膜的影响

摘要：

在陶瓷衬底上通过磁控溅射方法镀上金属钛层,用含铁杂质的氧化硅对钛层进行抛光,通过微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在不同的温度下短时间里制备出CNT膜.利用扫描电子显微镜、拉曼光谱,X射线衍射,分析了薄膜的结构和表面形貌.仔细研究不同温度下制备的CNT膜,得出衬底温度400℃时制备的碳膜是以非晶碳为主,600℃时置备的碳膜是良好的碳纳米管膜,800℃制备的碳纳米管膜的缺陷变得很多,以碳纳米链为主.最后得出了温度对催化活性有很大影响的结论.

关键词：微波等离子体化学气相沉积、碳纳米管、碳纳米链、陶瓷衬底

所属期刊栏目：33

分类号：TB383;O484(工程材料学)

资助基金：教育部科学技术重点资助项目205091

在线出版日期：2010-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：176-178