基于FPGA的硅谐振压力微传感器数字闭环系统设计

摘要：

在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出.介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理,在成功研制出模拟闭环系统的基础上,为了克服模拟系统的不足,依据相关检测原理和频率扫描技术提出了基于FPGA的闭环系统设计框架,详细分析了该系统中的微弱信号检测技术和数字电路部分数字信号处理及接口技术,最后结合实际数据和开环测试曲线,指出可用的扫频方法.

关键词：硅谐振微传感器、频率扫描、数字信号处理、FPGA

所属期刊栏目：31

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：航空基金资助04151065

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：150-153