等离子体中频电源的驱动与保护电路设计

摘要：

讨论了150 kHz等离子体中频电源的驱动与保护电路设计方案.该电路采用脉冲变压器耦合MOSFET管驱动电路,具有输出变压器原边平均电流和副边峰值电流的过流保护功能.结果表明:驱动波形的上升和下降时间都不超过80 ns,并能在检测到过流信号时封锁驱动信号,关断变换器中的开关器件,切断过流故障,有效进行电路保护.

关键词：等离子体电源、中频、驱动电路、保护电路

所属期刊栏目：30

分类号：TN78(基本电子电路)

资助基金：国家民委科研项目05ZN03

在线出版日期：2007-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：78-80