10.3969/j.issn.1004-373X.2006.01.051
基于小波变换的IC缺陷轮廓曲线分形维估计
硅片表面缺陷轮廓的形状特征对集成电路(IC)成品率预报及故障分析有重要影响.讨论了IC缺陷轮廓所具有的分形特征,利用小波变换对其参数曲线的分形维数进行了估计,估计结果与实际特征相符,从而为缺陷轮廓特征的描述和计算机模拟提供了一条新的途径.
IC缺陷轮廓、小波变换、分形维、集成电路
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TN406(微电子学、集成电路(IC))
国家科技攻关项目2003AA121630
2006-02-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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