基于小波变换的IC缺陷轮廓曲线分形维估计

摘要：

硅片表面缺陷轮廓的形状特征对集成电路(IC)成品率预报及故障分析有重要影响.讨论了IC缺陷轮廓所具有的分形特征,利用小波变换对其参数曲线的分形维数进行了估计,估计结果与实际特征相符,从而为缺陷轮廓特征的描述和计算机模拟提供了一条新的途径.

关键词：IC缺陷轮廓、小波变换、分形维、集成电路

所属期刊栏目：29

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家科技攻关项目2003AA121630

在线出版日期：2006-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：126-128