10.3969/j.issn.1004-373X.2004.10.040
基于工业控制计算机的MOCVD控制系统设计
金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术是当前研制和生产先进化合物半导体材料的最主要技术.本文结合GaN 材料生长的MOCVD系统研制,给出了MOCVD计算机控制系统,该系统采用工业控制计算机实现了整个系统的控制和管理,取得了满意的研究结果.
MOCVD、计算机控制系统、C++、GaN
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TP368.1(计算技术、计算机技术)
国防预研基金
2004-06-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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101-102,105