日本开发成功高质量p型氧化锌单晶基板

摘要：

@@ 日本九州工业大学的中尾基副教授和日本COLMO公司成功开发出高质量、低成本制备氧化锌晶片的技术.首先利用硅基板上的碳化硅缓冲层制作n型氧化锌单晶薄膜基板,然后用CVD法在基板上沉积p型氧化锌单晶薄膜.

机标关键词：日本、高质量、氧化锌单晶薄膜、薄膜基板、成功开发、碳化硅、缓冲层、硅基板、低成本、CVD法、制作、制备、晶片、教授、技术、公司、工业、大学、沉积

分类号：TN3;O47

在线出版日期：2010-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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