硬盘驱动器生产的协作课题

摘要：

@@ 硬盘驱动器(HDD)工业一直以平板印刷图形化介质作为保持面密度每年增长约40%(达到≥1Tbit/in<”2>)的手段.这意味着,将其临界尺寸减小到小于与非门闪速存储器的特征尺寸.与此同时,还必须使其成本只能是半导体工业中传统光刻成本的几分之一,这就需要同时推进新的压印平板EP印刷技术、适当的沉积技术和腐蚀技术的发展.

机标关键词：硬盘驱动器、生产、协作、图形化介质、闪速存储器、半导体工业、印刷技术、特征尺寸、平板印刷、临界尺寸、腐蚀技术、成本、沉积技术、与非门、面密度、压印、光刻、HDD

分类号：TQ5;TN3

在线出版日期：2010-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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