纳米材料

摘要：

韩国利用CMOS和碳纳米管制成生物传感器<br>　　韩国科学技术院(KAIST)在半导体电路技术国际学会“ISSCC 2015”上发表论文演讲，介绍了使用CMOS与碳纳米管制成的医疗用传感器。该传感器是在利用0.35μm工艺制造的CMOS晶圆上配置碳纳米管电极制成的。

机标关键词：碳纳米、生物传感器、纳米管电极、科学技术、韩国、管制、工艺制造、电路技术、半导体、医疗、演讲、学会、配置、论文、晶圆

分类号：TB3;TN9

在线出版日期：2015-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：84-87