三氯氢硅制备工艺研究进展

摘要：

高纯多晶硅生产过程中最重要的原料就是三氯氢硅(SiHCl3),近年来随着光伏产业得迅猛发展,SiHCl3的价格也相应地水涨船高,近几年的平均报价已经超过8000元/t.由此可见,如果多晶硅工厂通过外购而不是自产SiHCl3,其成本是何其之大.若增加制备SiHCl3的工序,不仅可降低多晶硅生产成本,更重要的是,使整个多晶硅生产实现闭环生产成为了可能.而且,SiHCl3制备工序可以根据其工艺特点承担整个多晶硅生产的尾气回收再利用和少量废气的回收处理,基本实现最低成本和零污染.由此可见SiHCl3制备工艺对整个多晶硅生产的重要性.

机标关键词：三氯氢硅、多晶硅生产、最低成本、回收再利用、高纯多晶硅、制备工艺、生产过程、生产成本、回收处理、光伏产业、工艺特点、工序、零污染、原料、尾气、外购、水涨、价格、工厂、废气

分类号：TN3;TQ2

在线出版日期：2012-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：47-51