多晶硅还原尾气回收利用率检测评价方法

摘要：

2009年9月26日,国务院颁发了《关于抑制部分行业产能过剩和重复建设引导产业健康发展的若干意见》.该文件要求:多晶硅生产过程中还原尾气中四氯化硅(SiCl4)、氯化氢(HCl)、氢气(H2)的回收利用率不得低于98.5％、99％、99％.这使得多晶硅生产行业面临一个新的问题——对还原尾气中上述组分的回收利用率进行规定和检测评价,即如何对多晶硅生产企业还原尾气中的SiCl4、HCl、H2回收利用率进行检测评价.四川新光硅业科技有限责任公司(以下简称“新光硅业”)是我国起步较早的多晶硅企业之一,2007年成立了我国第一条千吨级多晶硅生产示范线.本文结合该公司现有工艺和多年的生产经验,对还原尾气中主要组分回收利用率的检测评价方法进行探讨.

机标关键词：多晶硅生产、还原、尾气回收、利用率、检测评价、有限责任公司、SiCl4、重复建设、四氯化硅、生产行业、生产企业、生产经验、生产过程、评价方法、健康发展、产能过剩、部分行业、示范线、氯化氢、国务院

分类号：TU9;TQ4

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：15-19