磁控溅射氧化镓薄膜的制备及紫外探测性能

摘要：

采用磁控溅射技术在石英衬底上制备氧化镓(Ga2O3)薄膜,研究溅射过程中不同氩氧比对薄膜晶体结构、表面形貌、粗糙度、拉曼光谱以及紫外探测性能等的影响.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪和紫外-可见分光光度计等测试仪器对氧化镓薄膜进行表征分析.实验结果表明,氧化镓薄膜呈现β型晶体结构,薄膜表面晶粒尺寸均匀;溅射过程中加入氧气可以有效减少氧化镓薄膜中的氧空位缺陷,适当增大氧氩比可有效提高薄膜质量和薄膜对紫外光的探测能力.

关键词：氧化镓、磁控溅射、紫外探测

所属期刊栏目：25

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目61874087,61634004

在线出版日期：2020-12-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：45-49