氧化锌纳米棒紫外探测器的制备及性能

摘要：

应用磁控溅射技术、光刻技术和水热法在玻璃衬底上制备了氧化锌(ZnO)光电导型紫外探测器.利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和分光光度计等测试仪器对ZnO光电导型紫外探测器进行表征分析.实验结果表明,ZnO薄膜紫外探测器和ZnO纳米棒紫外探测器光电流分别为5.78 mA和6.48 mA;相比ZnO薄膜光电导型紫外探测器,ZnO纳米棒光电导型紫外探测器响应度提高了12.9％、灵敏度提高了14.5％,响应时间缩短了66.7％.

关键词：水热法、氧化锌纳米棒、叉指电极、紫外探测

所属期刊栏目：24

分类号：O482.7(固体物理学)

资助基金：陕西省教育厅科学研究计划资助项目16JK1693;西安邮电大学创新基金资助项目CXJJ2017025

在线出版日期：2019-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：58-62