基于金刚石的GaN基微波功率器件研究进展

摘要：

金刚石在目前所知的天然物质中具有最高的热导率,在高频、大功率GaN基高电子迁移率晶体管(HEMT)和电路的散热方面极有应用潜力.综述化学气相沉积多晶金刚石衬底的衬底转移技术、单晶金刚石衬底的直接外延技术和纳米金刚石表面覆膜的器件工艺技术在GaN基HEMT器件中的应用研究和发展历程,并分析每种技术的优缺点.

关键词：金刚石、氮化镓、微波器件、高热导率

所属期刊栏目：21

分类号：TN385(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金重点资助项目61334002

在线出版日期：2016-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：25-31