微机械加速度计内部噪声影响的对比分析

摘要：

以一种新型的梳状栅电容结构微机械加速度计为研究对象,对比分析机械热噪声和量子噪声对其检测精度的影响。研究结果表明,当微机械加速度传感器的结构尺寸接近纳米尺度时,在一定的温度条件下,量子噪声取代了机械热噪声成为影响加速度传感器自身噪声性能的主要因素,且量子噪声等效加速度大于机械热噪声等效加速度的温度临界点随着器件结构尺寸的减小而增大。

关键词：微机械加速度计、机械热噪声、量子噪声、检测精度

所属期刊栏目：17

分类号：TH824

资助基金：西安邮电学院中青年教师科研基金资助项目0001282

在线出版日期：2012-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：57-61