柔性电子薄膜热弹耦合振动分析

摘要：

针对陕西北人FR400ELS精密涂布机上运动薄膜存在的稳定性问题,对温度作用下运动薄膜的横向振动特性进行研究.建立薄膜横向振动的动力学方程,将运动薄膜热传导方程与横向振动方程联立并进行无量纲处理,解耦后得到含有热弹耦合系数的运动薄膜振动方程,应用微分求积法对此振动方程进行离散.研究了前三阶模态下热弹耦合系数、张力比等参数对运动薄膜的振动特性的影响.

关键词：运动薄膜、热弹耦合、微分求积法、前三阶模态

所属期刊栏目：38

分类号：O327(振动理论)

资助基金：国家自然科学基金;陕西省自然科学基金资助项目;陕西省教育厅自然科学专项项目;陕西省教育厅重点科学研究计划项目

在线出版日期：2022-09-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：158-163