以无机盐为出发原料的喷雾热解法制备ITO薄膜的研究
分别以In(NO3)3·4.5H2O与InCl3·4H2O为出发原料、SnCl4·5H2O为掺杂剂、乙酰丙酮(AcAcH)为螯合剂、甲醇为溶剂使用喷雾热解法在普通钠钙玻璃板上制备了 ITO 薄膜。以In(NO3)3·4.5H2O为出发原料沉积ITO薄膜速率慢,沉积出的薄膜无择优取向,其晶粒在100~150 nm之间,品质因数为4.03×10-3Ω-1;而以 InCl3·4H2O为出发原料沉积 ITO薄膜速率快,沉积出的薄膜具有(400)择优取向,其晶粒尺寸在200~400 nm之间,品质因数为5.85×10-3Ω-1。
出发原料、喷雾热解、沉积速率、ITO薄膜
O484.1(固体物理学)
陕西省国际科技合作重点资助项目101-221316。
2014-08-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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