基于FPGA的新型非对称双极脉冲磁控溅射电源的研究

摘要：

研究了基于FPGA的非对称双极脉冲电源,解决了磁控溅射工艺中遇到的共性问题,同时获得了优异的膜层性能和更宽的工艺范围.可以根据磁控溅射电源工艺需求对双向脉冲参数包括脉冲幅值、频率、占空比,以及正负向个数和正向脉冲与负向脉冲之间的换向时间等自由调节.最后设计了一个6 kW/100 kHz样机,前级采用两个独立的DC/DC变换器作为直流源,后级为一个非对称脉冲发生器.采用Altera 公司的FPGA(EP3C25Q240C8)作为数字处理器实现了电源的数字控制,同时对后级脉冲变换环节实现高自由度控制,通过实验结果分析进一步验证了设计的可行性.

关键词：脉冲电源、非对称、磁控溅射、高自由度

所属期刊栏目：29

分类号：TP313(计算技术、计算机技术)

资助基金：陕西省科技厅工业公关计划资助项目2011K09-05

在线出版日期：2013-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：216-220