四象限光电探测器高温输出自激失效分析

摘要：

针对某型激光导引头所用的四象限光电探测器高温环境试验过程中出现的输出自激失效现象,确定了失效物理模型和失效模式,搭建了失效现象复现测试电路,通过半破坏性开封、光学镜检和波谱分析,提出探测器光敏面沟阻隔离区在工艺过程受离子污染,使沟阻隔离区反型是导致四象限光电探测器输出自激的根本原因.根据光电探测器光敏面隔离区表面反型产生输出自激的失效机理,针对电极膜真空蒸镀工艺引入有害离子的具体原因,对电极膜制作工艺路线进行了改进.经 生产实践证明,改进后的工艺方法可有效消除该类失效模式的产生.

关键词：四象限探测器、输出自激、反型、失效分析

所属期刊栏目：29

分类号：TH765.2;TG502(仪器、仪表)

资助基金：陕西省教育厅专项科研计划资助项目2013JK1111

在线出版日期：2013-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：192-196