激光场强分布对类金刚石薄膜激光损伤阈值的影响

摘要：

采用非平衡磁控溅射技术,在双面抛光的硅基底上沉积了DLC薄膜,基于ISO11254-1损伤测试平台对DLC薄膜进行了损伤阈值测试；计算了DLC薄膜激光场强及温度场分布,对比了激光场强与损伤阚值的关系.计算结果显示:薄膜表面激光场强增大,DLC薄膜的激光损伤阚值变低；激光场强相等时,随着薄膜厚度增加,激光损伤阚值变小.分析认为:薄膜表面激光场强增大后,激光与DLC薄膜相互作用,产生的等离子体加剧薄膜对激光能量的吸收并产生热累积,激光场强诱导sp3杂化向sp2杂化转变,致使DLC薄膜发生石墨化,从而影响了DLC薄膜的激光损伤阈值.

关键词：类金刚石薄膜、激光场强、损伤阈值、等离子体吸收

所属期刊栏目：28

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60978040,60878032

在线出版日期：2012-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：45-48