Cr/C复合镀层的制备及其力学性能研究

摘要：

采用磁控溅射技术,以溅射石墨靶为C元素主要来源的方法制备了不同碳含量的Cr/C复合镀层.研究了碳含量对镀层相结构及元素存在状态的影响,并考察了碳含量变化后镀层硬度,韧性,结合强度等力学参量的变化.结果表明:该方法制备的Cr/C镀层中碳化物相主要是Cr3C2.随着碳含量的增加,镀层由晶态向非晶态结构过渡;镀层中的碳化物相也相应减少;镀层的硬度则随之而上升,韧性则下降.碳含量为75.08%的镀层结合强度最差.碳含量为42.37%,51.93%表现出较好的综合力学性能.

关键词：磁控溅射、Cr/C镀层、X射线衍射、X射线光电子能谱、力学性能

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分类号：O484.5;TH117.3(固体物理学)

资助基金：国家"863"科技攻关资助项目2005AA33H010;西安理工大学创新基金资助项目101-210603

在线出版日期：2009-02-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：268-272