利用快速傅立叶变换分析PMP相移机构的相移误差

摘要：

对PMP系统中标准N步相移误差进行研究,通过利用快速傅立叶变换的全场快速分析的特点,在频域范围内进行滤波和傅立叶逆变换后,迅速找到每步相移.的误差值曲面,然后经过曲面拟合找出每次相移与标准相移之间的较为准确的误差值均值,为后续的PMP相位展开提供了一个用以补偿相移误差的修正值,从而提高PMP测量的准确度.

关键词：相位测量轮廓术、相移算法、曲面拟合、快速傅立叶变换

所属期刊栏目：22

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：85-88