单晶炉勾形磁场设计参数实验验证

摘要：

通过模拟方法得到8英寸单晶炉(16英寸坩埚)勾形磁场的设计参数,并对磁场参数的模拟结果进行了实验验证.结果表明:磁场参数及其分布均满足晶体生长要求,磁场参数的模拟结果与实验结果吻合较好.该模拟方法可用于勾形磁场的实际设计.

关键词：有限元、勾形磁场、单晶炉、磁感应强度

所属期刊栏目：21

分类号：TP15(自动化基础理论)

在线出版日期：2005-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：296-300