氮化铝多层膜制备及其声表面波器件性能表征

摘要：

采用直流磁控溅射方法,在硅衬底与超纳米晶金刚石衬底上沉积生长了氮化铝(0002)择优取向薄膜,研究了不同衬底对氮化铝薄膜应力的影响,并以此氮化铝多层膜为基础通过光刻加工得到声表面波器件,进而对其声学性能进行了分析.结果表明,在硅基底上沉积的氮化铝薄膜存在压应力,而在超纳米晶金刚石薄膜上生长的氮化铝薄膜表现出拉应力,这可能是因为界面应力平衡诱导产生的结果.氮化铝多层膜声表面波器件表现出较强的共振信号,硅衬底上声表面波器件的频率温度系数为-38 ppm/℃,超纳米晶金刚石夹层的引入可有效改善器件的温度稳定性使频率温度系数减小到-28 ppm/℃,同时也显著地提高了机电耦合系数约达0.3％.

关键词：氮化铝多层膜、微观结构、声表面波器件、温度稳定性

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分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金青年科学基金11504291;西安科技大学博士启动基金2014QDJ017;西安科技大学培育基金201343

在线出版日期：2017-02-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：899-903