聚酰亚胺基柔性神经微电极的优化

摘要：

对一种聚酰亚胺基柔性神经微电极进行了结构及制作工艺等方面的优化.针对动物视网膜的刺激,设计制作了具有固定通孔结构的柔性神经微电极.在制作工艺方面,使用空气等离子体表面处理以增强金属层的黏附性,降低了微电极的界面阻抗,增强了微电极稳定性,使之适于长期植入.优化后微电极的电极金属层牢固且具有较低的界面阻抗(43 kΩ),比处理前降低了25.4%,误差减小了约4/5,具有良好的实用性.

关键词：柔性微电极、空气等离子体、黏附性、聚酰亚胺

所属期刊栏目：44

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：国家重点基础研究发展规划资助项目2005CB724305;国家高技术研究发展计划资助项目2009AA042326;国家自然科学基金资助项目30872629;中国科学院上海微系统与信息技术研究所青年创新基金资助项目2008QNCX02;上海市自然科学基金资助项目10ZR1436200

在线出版日期：2010-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：85-89