ZnO薄膜声表面波型SF6气体传感器的研究

摘要：

提出了一种基于ZnO薄膜的声表面波型SF6气体传感器.将利用微乳液法制备的ZnO颗粒制作在声表面波器件上,形成了一种对SF6气体具有物理吸附和脱吸附作用的ZnO薄膜.应用小波函数加权的输入换能器和具有抑制体声波作用的多条耦合器到声表面波器件中,传感器的频率响应特性得到了提高.声表面波器件的双声路结构消除了因外界测量条件改变引起的测量误差,进一步提高了传感器的可靠性和准确性.实验结果表明,基于ZnO薄膜的声表面波型SF6气体传感器具有较好的重复性和较强的连续测量特性,在测量范围内对各种浓度的SF6气体具有好的响应特性,传感器在9(SF6)为0.5×10-6到20×10-6范围内的线性灵敏度大约为7.3 kHz/10-6,但对CO2、N2具有一定的交叉灵敏度.

关键词：ZnO薄膜、声表面波器件、SF6气体、气体传感器

所属期刊栏目：42

分类号：TN65;TP212(电子元件、组件)

资助基金：国家自然科学基金60476037;60176020;高等学校博士学科点专项科研项目20020698014

在线出版日期：2008-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：445-449,461