高精度压印机热误差补偿中温度变量的辨识

摘要：

为了提高压印机在压印光刻工艺中的套刻对准精度,提出了采用因子分析方法来选取压印机热误差模型中的温度变量,根据变量之间的相关性分组后,再根据各变量与热误差之间的相关性在每一组中选取一个代表变量,最终将压印机上布置的温度传感器从15个减少到3个.在压印机温度测量关键点处建立了温度与模具在x、z方向热误差关系的数学模型,模型的热误差预测精度达到了98%以上.实验结果表明,该方法不仅保证了模型的精度,而且大大地减少了模型的计算时间,是一种在压印机热误差建模中选择温度测量关键点的有效方法.它不仅避免了热误差建模过程中的变量耦合问题,而且提高了模型的精确性,经过补偿,压印机的热误差在x、z方向都减小到200 nm以内.

关键词：压印光刻、压印机、套刻对准精度、因子分析、热误差补偿

所属期刊栏目：40

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家研究发展基金2003CB716203;2003CB716202;国家高技术研究发展计划863计划50505037;中国博士后科学基金2005037242

在线出版日期：2006-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：827-830,840