基于微元件键合图库的微机电系统动态建模与仿真

摘要：

为了更好地支持微机电系统(MEMS)Top-Down设计流程,针对MEMS仿真中的多能量域与非线性特点,采用键合图场元件与结型结构设计并实现了一个集中参数表达的MEMS键合图仿真元件库,同时基于该元件库提出了一种MEMS动态系统建模与仿真方法.采用参数化仿真模型与结构化体系构建的元件库,为MEMS设计流程中的概念设计阶段与系统级设计阶段的快速建模与仿真提供了方便,同时元件库内的所有元件均与MEMS器件级设计中的结构特征具有映射关系,这为用户需求空间-功能原理空间-结构空间之间的设计空间映射提供了方便.通过一个静电间隙执行器的系统建模过程与仿真结果,验证了利用该元件库进行建模与仿真的有效性.

关键词：微机电元件库、键合图、建模、仿真、映射

所属期刊栏目：39

分类号：TP391.72(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金50375118,50145006;教育部科学技术基金2001-066

在线出版日期：2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：744-748