10.3321/j.issn:0253-987X.2002.08.019
酸催化正硅酸乙脂溶胶-凝胶二氧化硅薄膜的制备
针对正硅酸乙脂(TEOS)溶胶-凝胶工艺制备的二氧化硅凝胶薄膜在热处理过程中出现的龟裂现象,通过控制TEOS水解条件,使反应体的最初水解中间体以任意三维方向线状聚合,再水解时能形成线状-粒状结构二氧化硅溶胶.水解体系中引入的有机添加剂丙三醇与水解中间体结合后,改变了二氧化硅的聚集状态,而聚乙烯醇使二氧化硅溶胶具有无机-有机网状结构.通过该工艺制备的二氧化硅溶胶易于成膜;所形成的二氧化硅薄膜结构均匀,厚度可控,表面致密,其折射率为1.543~1.580,热导率为0.3 W/(m*K).
正硅酸乙脂、溶胶-凝胶工艺、二氧化硅、薄膜
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TM215(电工材料)
国家自然科学基金50002009
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
847-850,880