0.12μm至1.2μm振动测量技术研究

摘要：

采用电子散斑时间平均法振动测量原理,通过Bessel函数的余弦近似和对参考振动的振动相位和振幅的控制,并实施三步相移,从而实现了振幅的定量计算,使得振幅在0.12 μm至1.2 μm间的振动精确定量测量成为可能,其测量精度较云纹估算法有很大提高.该系统具有全场、非接触、测量速度快、测量精度高等优点.

关键词：相移、振动测量、电子散斑

所属期刊栏目：34

分类号：O329(振动理论)

资助基金：中国科学院资助项目59905020

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：55-57