高密度硬磁盘用小型压电致动器

摘要：

利用宽度弯曲振动模式,制成了平面分割电极型片状压电致动器.分析、测试了致动器的位移-驱动电压特性和谐振频率.典型结果是12V驱动电压下可获得0.46μm的位移量,谐振频率为10.7kHz.满足该指标的致动器可用于制作高密度硬磁盘磁头定位两级伺服系统的第2级精定位致动器.

关键词：硬磁盘、分割电极、压电陶瓷、致动器

所属期刊栏目：33

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研项目96069809

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33