高科技产品中微机电系统应用研究

摘要：

文章以CMOS为引子,概述MEMS的研究性质、主要特征;以通信/移动设备、智能手环为例,解读高科技产品中MEMS的应用状况;最后介绍MEMS与CMOS的差异,提出了我国发展MEMS的基本设想.

关键词：MEMS、CMOS、微加工、交叉学科

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资助基金：上海工程技术大学项目研究成果;项目名称:电子封装技术专业建设;项目z201705001

在线出版日期：2018-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：145-146