MEMS传感器的发展现状及应用综述

摘要：

在微电子技术高速发展的大潮中，MEMS（Microelectro-mechanical systems）传感器也得到广泛应用。首先，文章简单介绍MEMS传感器的概念、特点、典型代表。其次，举例阐述其在国内外的最新研究进展、产品及应用情况，包括基本原理、实现功能的先进性。最后，从无源化、材料多样化、微型化等方面对MEMS传感器的发展方向进行展望。

关键词：微电子机械系统、传感器、应用

分类号：TU2;G12

在线出版日期：2016-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：95-96