基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台设计

摘要：

针对超精密金属切削加工开发了一款基于音圈电机驱动的纳米级空气静压工作台,阐述了它的工作原理、结构配置以及驱动与控制系统设计方法,并对它在空载条件下的定位性能和实际金属切削性能进行了测试与评价.实验结果表明,该工作台可实现1 nm级的定位精度,并可用于纳米级精度的金属切削加工.

关键词：空气静压工作台、超精密定位、纳米加工

所属期刊栏目：49

分类号：TM359.9(电机)

在线出版日期：2021-02-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-31,44