基于新型初级永磁直线电动机的光刻制版系统设计

摘要：

为了提高大尺寸激光防伪商标全息母板制作的效率和精度,开发了以新型初级永磁直线电动机驱动的X-Y工作台,以工业控制计算机为上位机、TMS320F2812为下位机的高速光刻机,并采用动态曝光的工作模式,实现了高速高精度定位.解决了传统光刻机需要在静止状态下完成曝光的难题,光刻速度提高10倍,解决了制作大尺寸防伪商标困难的问题,较大地提升了激光全息防伪商标的制作技术水平.

关键词：激光、永磁直线电动机、磁路互补、光刻、光栅、TMS320F2812、FPGA

所属期刊栏目：41

分类号：TM359.4(电机)

在线出版日期：2013-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19