基于不对称振动模态的毫米级直线超声波电动机的研制

摘要：

介绍了一款微型直线超声波电动机的研制.该电机利用两个频率不相等的不对称弯振模态工作,可以实现单相驱动和两相驱动.建立了电机定子的运动学模型,分析了在单相、两相驱动下定子驱动质点的运动轨迹,推导出其椭圆运动轨迹方程.利用有限元对在不同频率驱动下定子驱动点的运动轨迹进行了仿真,检验了电机运动机理分析的正确性.制作了微型直线超声波电动机样机,该电机定子的尺寸仅为1.72 mm×1.72 mm×6 mm,在驱动频率为131.9 kHz、激励电压为40V时,电机单相、两相激励时的空载速度分别为3.9 mm/s和4.9 mm/s.

关键词：直线超声微电机、运动机理、椭圆运动轨迹、弯曲振动、有限元

分类号：TM359.9(电机)

资助基金：国家自然科学基金重点项目50735002;中国博士后基金资助项目20100480581;上海市博士后基金资助项目11R21413400;中国博士后特别资助项目201104252

在线出版日期：2012-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12