10.3969/j.issn.1004-7018.2009.12.008
一种结构简单的高精度压电尺蠖式位移致动器
介绍了一种结构简单、易装配的高精度压电尺蠖式位移致动器,阐述了致动器的工作原理和结构.致动器采用叠堆式压电陶瓷作为驱动,利用柔性铰链作为位移放大机构,能够可靠地实现光轴的双向运动.位移分辨率可以达到纳米级别,步距可以在几纳米至几毫米之间任意选择.
压电尺蠖式位移致动器、柔性铰链、纳米定位
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TM38(电机)
国家自然科学基金资助项目50607018
2010-03-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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