10.3969/j.issn.1004-7018.2008.10.019
MEMS微齿型尺蠖驱动器的研究进展
全面介绍了MEMS微齿型尺蠖驱动器在国外的最新研究进展及应用,该驱动器具有大输出力和高频大功率密度的特点,是高性能精密直线驱动器的一个重要发展方向.
尺蠖驱动器、MEMS微齿、镍钛合金层
36
TM38(电机)
2008-12-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
55-57,60
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10.3969/j.issn.1004-7018.2008.10.019
尺蠖驱动器、MEMS微齿、镍钛合金层
36
TM38(电机)
2008-12-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
55-57,60
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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