光电测微系统中的聚焦伺服控制

摘要：

介绍了光电测微系统的基本原理及其构成,分析了该系统的关键环节即聚焦伺服系统,建立了音圈电机的数学模型.在此基础上,详细介绍了采用PID校正网络提高系统的稳定性和响应速度的方法,并用Matlab进行仿真,仿真效果令人满意.

关键词：光电测微、聚焦伺服、音圈电机、PID校正、数字控制

所属期刊栏目：30

分类号：TM383.4(电机)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：30-31,33