静电电动机及其研究发展状况

摘要：

文章详细介绍了静电电动机的基本原理、分类以及各自的特点,综述了其研究发展的历程和国内外研究现状,并提出了静电电动机研究下一步的发展方向.

关键词：微机电系统、静电电动机、介电驰豫、电容可变、发展

所属期刊栏目：29

分类号：TM35(电机)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-15