10.3969/j.issn.1004-7018.2001.03.006
利用LIGA技术研制超微步进电机
文章概述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镜照片等。该电机的转子和定子由LIGA技术制造完成,线圈由手工在显微镜下绕制完成,转子直径2mm,整个电机直径5mm。
LIGA技术、超微步进电机、微机械系统、微加工技术
29
TM351(电机)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
18-20
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10.3969/j.issn.1004-7018.2001.03.006
LIGA技术、超微步进电机、微机械系统、微加工技术
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TM351(电机)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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