基于透射衰减和菲涅尔衍射的厚度测量法

摘要：

提出了一种基于X射线透射衰减和菲涅尔衍射光学机理的工件厚度测量法.首先利用菲涅尔衍射模型对透射数字成像的边缘区域进行衍射校正,然后在相应能量的X射线透射作用下,根据其边缘处的厚度值,反推该材料的衰减系数,最后利用厚度测量公式计算出工件的厚度值.该方法不依赖于难以测量的材料衰减系数集、材料的原子序数及X射线的绝对光强值,不仅能够批量测量透射目标各点的厚度值,还可以测量其内部缺陷的大小.

关键词：厚度测量、透射衰减、菲涅尔衍射、内部缺陷

所属期刊栏目：34

分类号：TG115.28(金属学与热处理)

资助基金：国防基础科研计划资助B1420080209-08;国家自然科学基金资助60904097

在线出版日期：2011-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23