调制传递函数曲线在小缺陷工业CT检测中的应用

摘要：

尺寸测量是工业CT的一个重要应用方向,但工业CT检测是非直接测量方式,尺寸测量是通过CT像素尺寸和像素值作为特征量来计算并实现的.当尺寸接近或小于有效射束宽度(BW)的小细节或小缺陷尺寸测量时,使用常规的半高宽方法的测量误差很大,测量方法不再适用.采用调制传递函数曲线为特征量,通过软件统计计算等效直径的方法来确定小缺陷的尺寸.经过试验验证,这种测量方法对小缺陷尺寸的测量精度最差为13.8％,87％以上的测量结果精度优于10％,具有有效性和适用性.

关键词：工业CT、小缺陷、调制传递函数曲线、尺寸测量

所属期刊栏目：42

分类号：TG115.28(金属学与热处理)

资助基金：国防技术基础项目;国家自然科学基金资助项目

在线出版日期：2020-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：50-56