靶材钎焊连接质量的超声成像检测技术

摘要：

采用超声成像方法对微电子器件镀膜靶材钎焊质量进行检测,获得其A扫描和C扫描图像.根据扫描图像判断缺陷的大小、种类及位置,并通过断面金相分析进行验证.试验表明,超声成像检测方法能够高效、快速、全面地反映出钎焊界面的接合状态及内部缺陷,是一种较好的检测钎焊靶材连接质量的无损检测方法.

关键词：超声成像检测、靶材、钎焊、连接质量评估

所属期刊栏目：29

分类号：TG115.28(金属学与热处理)

在线出版日期：2007-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：244-246