355 nm全固态紫外激光加工玻璃通孔工艺

摘要：

玻璃通孔结构广泛应用于光通信、微电子机械系统(MEMS)封装、芯片三维垂直集成等领域.采用单一变量法详细研究了355 nm全固态紫外激光进行玻璃通孔加工时,各激光参数对通孔直径、锥度及表面质量的影响.研究结果表明,随着激光功率密度的增大,孔边缘易出现较严重的裂损现象,孔径随之增大;激光重复频率的增大将增加通孔边缘及侧壁的熔融物数量,且通孔锥度也会增加;适当降低激光扫描速度可减小通孔边缘重凝区宽度,然而扫描速度太低时,由于热累积效应打孔质量下降;适当的负离焦有利于获得垂直度高、质量良好的玻璃通孔.研究结果对使用激光加工高质量玻璃通孔的参数选取具有一定的参考价值.

关键词：紫外激光、玻璃通孔、激光加工、3D垂直封装、单一变量法

所属期刊栏目：57

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：山西省自然科学基金;山西省自然科学基金;高等学校科技创新项目

在线出版日期：2020-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：59-65