接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

摘要：

针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题,采用半导体工艺技术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块.该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置检查图形,可实现探针针尖10个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为-150～150 μm内探针扫描位置的检查.使用探针状态检查样块对一台型号为P-6的接触式轮廓仪进行了检查,实验结果表明:该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题,进而有助于接触式轮廓仪探针的故障检查和维修.

关键词：轮廓仪、探针沾污、探针缺陷、扫描位置、检查图形

所属期刊栏目：56

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2019-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：761-765