石墨烯压力传感器的设计与制作

摘要：

为了降低电容式石墨烯压力传感器的成本,对石墨烯压力传感器的结构与工艺进行研究,简化加工工艺步骤,设计并制作出石墨烯传感器样片,该传感器样片的灵敏度分为多个区间,最高可达608 MPa-1.首先,将石墨烯溶液制作成纸,利用雕刻工艺将石墨烯纸雕刻成为不同规格的平行叉指图形,并用聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜覆盖制作成为石墨烯压力传感器.然后,对样片进行静态与动态性能的测试,对测试结果进行对比分析.结果 表明该传感器制作工艺简单、成本低廉、性能优良.最后论证了传感器的可行性.

关键词：石墨烯、叉指图形、电容式传感器、聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜、压力传感器

所属期刊栏目：56

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金51375017

在线出版日期：2019-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：720-725