原子力显微镜电场辅助纳米沉积加工

摘要：

主要研究了基于原子力显微镜(AFM)的场蒸发沉积加工方法,分析了影响沉积加工的因素.通过选择适当的针尖和样品间的距离、加工电压和探针运动速度等参数,实现了纳米点、纳米线及纳米字符等纳米结构的加工.纳米点加工中,加工参数保持不变,纳米点的高度变化不大,平均高度约为1.5 nm.纳米线加工中,通过改变加工电压和探针运动速度,加工得到了不同高度的纳米线,其高度最小约为1.5 nm,最高可达65 nm.总体上,沉积加工重复性、可控性较好.然而,沉积加工的起始位置容易产生高度过大的点,并且在纳米线与纳米字符的加工中,加工结果呈现规律性的偏移.分析表明,以上问题主要与探针形貌以及大气环境有关.此外,加工电压过高时也容易导致高度不均匀.

关键词：原子力显微镜(AFM)、纳米焊接、纳米加工、场蒸发沉积、纳米器件

所属期刊栏目：55

分类号：TP242.3;TB383(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金;河南省高等学校重点科研项目

在线出版日期：2018-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：910-916