微纳加工中探针与工件碳元素作用机理

摘要：

以加工件中碳原子为基本模型,构成与电极间相互作用系统.通过理论计算和模拟研究了碳元素在外加电极情况下,整个系统的电子传输过程与电子态密度的分布,结果显示费密能级附近态密度不为零,有能带存在,且能带较宽,离域性较强.同时对电极和工件间距不断变化时系统的电子传输和态密度的变化进行了研究,结果表明,随着距离的增加,本征能量不断减少,电子态密度降低,电子隧穿减弱,从而导致传输概率也逐渐降低.当距离大于0.4 nm时,电子不能完全通过,电火花加工处于截止状态.

关键词：微纳电火花加工、传输谱、态密度(DOS)、格林函数、电子传输

所属期刊栏目：49

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）;江苏省自然科学基金;中央高校基本科研业务费专项

在线出版日期：2012-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：548-552